检测原理：液相色谱流动相携带样品进入色谱柱，利用不同组分在固定相的吸附和流动相的洗脱力度差异实现分离，并在检测器上记录信号。分离后的组分，按时间顺序依次进入ICP-MS检测器，形成时间-信号强度的质谱峰。离子化过程，经雾化器形成气溶胶，去溶剂化、原子化和电离，生成单电荷正离子。离子通过采样锥/截取锥接口进入真空系统，经离子透镜聚焦后，由四极杆质量分析器按质荷比（m/z）筛选，检测器记录信号值。通过标准曲线，计算含量。
应用领域：环境监测（土壤和水质污染物形态分析，如重金属三价砷、五价砷、有机汞、无机汞等）、生物医药（药物杂质分子的定性和定量分析）、食品安全（营养学方面，分析样品中的微量元素形态，研究代谢机制）、同位素分析、粮食和果蔬重金属检测（小麦、大米等谷物中的砷、镉等污染物分析）、血液、尿液等生物样本中金属形态分析。
检测限：ICP-MS的检测限可达ppt级（10^-12 g/mL），尤其适合痕量元素分析。动态范围覆盖8-9个数量级，适合复杂样品中不同浓度元素的同步分析。可同时测定70余种元素，多种形态分析。
测定指标：常见重金属：汞（Hg）、镉（Cd）、铅（Pb）、铬（Cr）、砷（As）、锌（Zn）、铜（Cu）等，价态与形态Cr³⁺、Cr⁶⁺、As(III)、As(V)及有机砷化合物等。非金属元素，硅（Si）、硒（Se）、磷（P）等，有机金属化合物：有机锡、有机汞等。